超薄軟性銅箔基板(FCCL) 濺鍍/電鍍法 使用Roll to Roll Sputtering System製備薄的銅層於軟性基材 (如:PET、PI…等),後續利用塑膠基材上的薄銅層進行電鍍法製作較厚的銅層,完成FCCL製作,目前此法主要應用於高密度構裝的LCD驅動IC及COF(Chip on Flex)軟板等產品。 採用Roll to Roll Sputtering System於沉積薄銅層前,在高真空腔體內利用電漿技術對基材表面進行處理,有效增加軟性基材表面粗糙度,提升薄銅層與軟性基材間的接著力,同時搭配化學銅電鍍製程,實現優異的連接可靠性、低表面阻抗值、高拉力強度及獲得銅結晶連續性。 2L-FCCL產品特性
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