2005年TFT-LCD發展開始，對於阻水膜的水氣穿透率(Water Vapor Transmission Rate；WVTR)特性有高的要求~10^-3 g/m²∙day，

近年為了製造新一代的可撓式顯示器 (如：E-paper及OLED)及有機太陽能電池(OPV)，更提升阻水膜性能要求至WVTR~10^-5 g/m²∙day，

避免光電元件內部的有機物及金屬劣化。現況高階阻水膜產品以有機層/無機阻隔層/有機層的多層交錯疊合結構為主。

1. 降低水氣從材料滲透

水氣分子滲透(Permeation)通過基材的步驟包含：可分成水氣吸附於表面、藉由擴散通過材料、脫附至環境三步驟，其中主要速率決定於水氣擴散之材料。

依據菲克定律(Fick’s Law)：F=-D‧ΔC/t，其中F為水氣擴散通量，D為擴散係數，ΔC為阻水膜兩側的濃度差，t為阻水膜的厚度。

如果若能有效降低擴散係數，將使水氣不易擴散至阻水膜另一側，或藉由增加阻水膜厚度提升阻水效果。

2. 降低無機膜層針孔透

當無機膜層品質不佳，如基板表面有異物附著或膜層間的內應力，皆可能導致薄膜產生針孔(Pinhole) ，這些針孔將成為水氣穿透路徑，因此製備緻密無針孔的均勻無機膜層相當重要。

我們利用Roller to Roller Sputtering system在塑膠基板製備無機阻隔層薄膜，用來克服塑膠基板氧氣及水氣透過率過高的問題，

其中結合了無機阻隔層的高阻水性、有機層的可撓性，同時藉由多層膜交錯疊合，實現阻水膜於可見光穿透率>80%、附著測試5B、WVTR<10^-2 g/m²∙day。